消息称台积电首台 ASML High NA EUV 光刻系统本月进机

业界

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9 月 9 日消息,据台媒《经济日报》今天下午援引业界消息称,台积电首台 ASML High NA EUV 光刻系统设备本月将进机,这将使其“持续领先”三星晶圆代工的交机进度。

这台设备的价值超过 4 亿欧元(备注:当前约 31.48 亿元人民币),其高度超过一间会议室、长度远超前一代设备,规格特殊且精密,因此当地与机场或港口相连的高速公路预计需要进行交通管制,或安排在特定的深夜时段运送入厂,以避免交通不顺。

对于业界传闻,ASML 今天回应称“不评论单一客户”,台积电傍晚也提到不回应市场传闻。不过业界盛传,台积电首台 High NA EUV 本月将进机,预计移入台积电全球研发中心用于研发,进而应对后续先进制程开发需求。

据此前报道,今年 8 月曾有韩媒消息称,三星将于 2024 年第 4 季度至 2025 年第 1 季度期间,装首台来自 ASML 的 High-NA EUV 光刻机,并预估 2025 年年中投入使用

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