台积电计划在高雄推进 1.4 纳米制程的 A14 生产线，并已在当地盘点所需的土地和水电资源。目前，台积电在楠梓园区的第三座晶圆厂将生产 2 纳米制程芯片，高雄市正解决相关生产和生活需求问题。楠梓园区预留用地足够建设五座晶圆厂，第四、五厂或采用 A14 制程。预计 2025 年楠梓首座 2 纳米晶圆厂将量产，其产值将超越 3 纳米制程。A14 制程预计 2026 年上半年进行风险试产，2027 年第三季度量产，初期将使用 ASML 第三代 EUV 设备。同时，台中中科新厂也可能采用 2 纳米以下制程技术。