荷兰政府公布新规定,要求阿斯麦(ASML)在出口浸润式 DUV 光刻机时必须获得出口许可证,涉及型号包括 TWINSCAN NXT:1970i 和 1980i。此外,ASML 最先进的浸润式 DUV 光刻机(TWINSCAN NXT:2000i 及后续型号)和 EUV 光刻机的销售也受到出口许可证的限制。
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