英特尔计划与日本产业技术综合研究所(AIST)在日本合作建立一个新的芯片研发基地,该基地预计在未来三到五年内完成,并将配备极紫外线光刻设备。该设施将对设备制造商和材料公司开放,供他们付费进行原型设计和测试。这将是日本首个允许行业成员共同使用极紫外光刻设备的中心。
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